一、極致的過濾效能

在半導(dǎo)體行業(yè)中，氣體的純凈度直接決定了產(chǎn)品的質(zhì)量與良率。恒歌SF 系列 IGS 面板專用過濾器脫穎而出的關(guān)鍵在于其卓越的過濾能力。它能夠?qū)崿F(xiàn) 0.003μm 級(jí)高效顆粒過濾，這意味著哪怕是極其微小的雜質(zhì)顆粒都難以逃過它的 “法眼”。同時(shí)，保障 9 - LRV 清潔度，為半導(dǎo)體生產(chǎn)過程提供了一個(gè)近乎純凈的氣體環(huán)境。無論是芯片制造中的光刻、蝕刻等精細(xì)工序，還是其他對(duì)氣體純度要求極高的環(huán)節(jié)，恒歌SF 系列過濾器都能有效去除可能影響產(chǎn)品質(zhì)量的雜質(zhì)，大大降低次品出現(xiàn)的概率。

二、出色的流量適配與設(shè)備兼容性

半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備往往需要穩(wěn)定且較大流量的氣體供應(yīng)，恒歌SF 系列過濾器恰好能滿足這一需求。它支持高達(dá) 100slpm 的大流量，確保在設(shè)備運(yùn)行過程中不會(huì)因氣體流量不足而導(dǎo)致生產(chǎn)中斷或效率降低。而且，它兼容 C 型和 W 型多種密封規(guī)格，這使得它能夠與半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)中的各種設(shè)備完美適配，無論是現(xiàn)有的生產(chǎn)線升級(jí)改造，還是新生產(chǎn)線的建設(shè)，恒歌SF 系列過濾器都能輕松融入，真正做到助力設(shè)備升級(jí)無憂，為企業(yè)的生產(chǎn)擴(kuò)張和技術(shù)升級(jí)提供了有力保障。

三、堅(jiān)固耐用且精巧的設(shè)計(jì)

其全 316L 不銹鋼構(gòu)造是一大亮點(diǎn)。不銹鋼材質(zhì)本身就具備耐高溫、耐高壓、耐腐蝕的特性，再加上電解拋光處理的 316L 不銹鋼外殼，不僅進(jìn)一步提升了其抗腐蝕能力，還使過濾器表面更加光滑，減少了雜質(zhì)吸附的可能性。小型化設(shè)計(jì)與緊湊的結(jié)構(gòu)讓它在空間有限的半導(dǎo)體生產(chǎn)車間中不會(huì)占據(jù)過多寶貴空間。同時(shí)，采用機(jī)械密封且結(jié)構(gòu)上與介質(zhì)無焊接的設(shè)計(jì)，既保證了良好的密封效果，防止氣體泄漏，又使得安裝與檢修便捷高效。在半導(dǎo)體行業(yè)爭分奪秒的生產(chǎn)節(jié)奏中，這種設(shè)計(jì)能夠有效減少設(shè)備停機(jī)維護(hù)的時(shí)間，提高整體生產(chǎn)效率。

四、利于系統(tǒng)集成與長期穩(wěn)定運(yùn)行

恒歌SF 系列過濾器采用符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)的表面安裝元件，這為系統(tǒng)集成帶來了極大的便利。它能夠與其他半導(dǎo)體設(shè)備無縫對(duì)接，便于進(jìn)行模塊化設(shè)計(jì)升級(jí)，使整個(gè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)更加靈活、高效。長期來看，其穩(wěn)定的性能和低維護(hù)成本能夠確保在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中持續(xù)穩(wěn)定地運(yùn)行，為企業(yè)節(jié)省大量的人力、物力和時(shí)間成本，是半導(dǎo)體企業(yè)追求高品質(zhì)、高效率生產(chǎn)的理想選擇。

恒歌SF 系列LGS面板專用過濾器特點(diǎn)：

? 整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

? 小型化設(shè)計(jì)、結(jié)構(gòu)緊湊、不占用空間優(yōu)異的氣體置換和解吸特性

? 耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

? 電解拋光316L不銹鋼外殼

? 安裝與檢修便捷高效

? 采用機(jī)械密封、結(jié)構(gòu)上與介質(zhì)無焊接

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