恒歌納米級高壓氣體專用過濾器是專為半導(dǎo)體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)設(shè)計(jì)的高效過濾設(shè)備。其堅(jiān)固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)和50Mpa設(shè)計(jì)壓力，結(jié)合相對較輕的重量，兼具高強(qiáng)度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長壽命，能夠高效濾除壓縮空氣中...

在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中，高純氣體的過濾是確保產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。特別是在半導(dǎo)體、電子、化工等對氣體純度要求極高的領(lǐng)域，選擇一款性能卓越的氣體過濾器至關(guān)重要。恒歌納米級氣體過濾器憑借其卓越的性能和優(yōu)勢，成為進(jìn)口產(chǎn)品的理想替代方案。

KF系列真空系統(tǒng)是一種廣泛應(yīng)用于中低真空環(huán)境的快速接頭法蘭系統(tǒng)，其設(shè)計(jì)旨在實(shí)現(xiàn)快速搭接和拆卸，適合于需要頻繁更換系統(tǒng)配置或進(jìn)行清潔的場景。KF系列真空系統(tǒng)具有以下特點(diǎn)：

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝是關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一，對氣體純凈度和工藝穩(wěn)定性有著極高的要求。KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器憑借其卓越的性能，為CVD工藝提供了可靠的氣體凈化解決方案，以下是其在CVD工藝中的應(yīng)用優(yōu)勢：

恒歌不銹鋼氣體過濾器壓縮空氣氮?dú)庋鯕饩苓^濾器采用不銹鋼316L制成，通過物理吸附相結(jié)合的方法在常溫下將工藝氣體中的H20，O2，CO，CO2，NMHC等雜質(zhì)去除，并且在316L不銹鋼罐體中內(nèi)置了過濾精度為0.03μm的顆粒過濾器。

恒歌高壓氣體過濾器主要用于過濾空氣、氧氣、二氧化碳、氫氣、氮?dú)獾雀黝惛邏簹怏w，能夠有效去除氣體中的顆粒物、水分、油分等雜質(zhì)，確保氣體的純凈度和質(zhì)量，為下游工藝提供可靠的氣體供應(yīng)。

在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中，真空系統(tǒng)氣體過濾器對于保障工藝的純凈度和穩(wěn)定性至關(guān)重要。恒歌KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器憑借其卓越的性能和廣泛的應(yīng)用場景，成為眾多高科技產(chǎn)業(yè)的首選設(shè)備。

DF系列擴(kuò)散器專用過濾器專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。它結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，能夠有效減少工藝腔體排氣時的湍流，確保氣體的平穩(wěn)流動。這種過濾器的過濾精度高達(dá)0.003μm，能夠有效防止氣流吹起...

恒歌SF系列IGS面板專用過濾器是專為半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)的高性能氣體過濾設(shè)備。該過濾器采用全316L不銹鋼構(gòu)造，堅(jiān)固耐用，緊湊的體型融合了全焊接與機(jī)械密封技術(shù)，確保了過濾器的高可靠性和長壽命。其過濾精度高達(dá)0.003μm，...

恒歌SF系列IGS面板專用過濾器是專為半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)的高性能氣體過濾設(shè)備。該過濾器采用全316L不銹鋼構(gòu)造，堅(jiān)固耐用，緊湊的體型融合了全焊接與機(jī)械密封技術(shù)，確保了過濾器的高可靠性和長壽命。其過濾精度高達(dá)0.003μm，...

恒歌0F系列在線式專用氣體過濾器是專為高流量電子級氣體超純凈化設(shè)計(jì)的高效過濾設(shè)備。其過濾精度高達(dá)0.003μm，能夠有效去除氣體中的微小顆粒和雜質(zhì)，確保氣體的超高純度。該系列過濾器采用全焊接316L不銹鋼外殼，結(jié)構(gòu)緊湊、強(qiáng)度高，與多種半導(dǎo)體...

MF系列儀器保護(hù)專用過濾器、全金屬材質(zhì)、專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計(jì)、兼容114”、3/8”及1/2”VCR標(biāo)準(zhǔn)墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝、是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設(shè)備不可或缺的守護(hù)屏障。在高達(dá)400℃環(huán)境下、能有效阻隔微粒侵襲...