恒歌氣體純化過濾器采用不銹鋼316L制成，通過物理吸附相結(jié)合的方法在常溫下將工藝氣體中的H20，O2，CO，CO2，NMHC等雜質(zhì)去除，并且在316L不銹鋼罐體中內(nèi)置了過濾精度為3納米到100微米的顆粒過濾器。

產(chǎn)品特點(diǎn)及規(guī)格:

1、耐高溫耐高壓耐腐蝕

2、整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

3、適用于多種工藝氣體

4、高通量、低阻力

5、超高顆粒攔截效率

6、100%氨氣檢露測試

7、內(nèi)置0.003-100微米過濾器

8、出口氣體各雜質(zhì)含量小于5ppb

9、可配置兩閥、三閥和四閥等組件

透氣孔徑：

納米級：3nm、7nm、50nm、100nm、200nm、500nm可定制

微米級的：0.003-100μm

產(chǎn)品應(yīng)用：

恒歌半導(dǎo)體氣體純化過濾器專業(yè)應(yīng)用于半導(dǎo)體制程超純工藝氣體在線過濾、大流量電子級氣體超純凈化開發(fā)、集體氣體輸送分配、氣體限流，特別適用于惰性氣體和反應(yīng)性氣體的過濾。

恒歌不銹鋼氣體過濾器是半導(dǎo)體行業(yè)高純/超純氣體過濾系統(tǒng)的首選

1、不銹鋼結(jié)構(gòu)非常適合高溫和高壓力應(yīng)用:

2、適用于半導(dǎo)體制造的先進(jìn)過濾和分離解決方案:

3、具有先進(jìn)的納米攔截功能:

4、可獲得最佳效果、并節(jié)省成本。

恒歌不銹鋼氣體過濾器有著多種規(guī)格型號、可提供OEM定制服務(wù)、可按照您的需求設(shè)計生產(chǎn)、為您的項目提供最專業(yè)的過濾解決方案!