RF系列多孔金屬限流器:壓縮氣體供應管線和氣體分配歧管中,保護氣體 流量穩(wěn)定可靠,它通過與不同規(guī)格的氣阻配件結合、安裝在壓縮氣體供應管線和氣體分配歧管中、以防止由于氣體管線破裂、閥門或壓力調節(jié)器故障、引起的意外高氣體流量。在半導體制程氣體輸送分配系統(tǒng)中、用于保護氣體流量穩(wěn)定可靠、減少氣體流動負擔、避免氣體過載引發(fā)不良后果。結構堅因、更換便捷。
多孔金屬限流器特點:
1、結構緊湊、節(jié)省空間
2、通過更換氣阻配件、可定制不同流量
3、流量控制可靠持久
4、可用于高流量、高溫度與高壓力環(huán)境、減少氣體流動負擔、不易堵塞、可形成層流整體316L不銹鋼結構、無結構彎曲或顆粒脫落
5、使用壽命長
6、100%氨氣泄露檢測通過
技術參數
濾芯材質 | 316L不銹鋼粉末燒結 | 殼體材質 | 316L不銹鋼 |
流量范圍 | 0.1sccm~40slpm | 最大工作壓差 | 1500psig |
精度 | +7.5% Base | 可重復性 | 士0.1% |
最高使用溫度 | 460℃ | 氦氣泄漏率 | 1x10-9cc/min |
密封面尺寸 | 1/4"'VCR |