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BF系列大宗氣體專用過濾器、專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計、采用全316L不銹鋼精密打造、多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計確保高流通量下低阻損、過濾精度高達(dá)0.003μm、滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造、是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決方案。
產(chǎn)品特點
? 整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)
? 高通量、低阻力
? 超高顆粒攔截率
? 耐高溫、耐高壓、耐腐蝕
? 適用于多種工藝氣體
? 適用于潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝
? 100%完整性測試
? 100%氨氣檢漏測試
產(chǎn)品參數(shù)
| 濾芯材質(zhì) | 316L不銹鋼粉末燒結(jié) | 殼體材質(zhì) | 316L不銹鋼 | ||
| 最大進(jìn)氣壓力 | 207bar | 最大工作壓差 | 5.2bar | ||
| 氦氣驗證泄漏率 | 2x10-10cc/min | 氦氣測試泄露率 | 1x10-10cc/min | ||
| 表面處理 | 外表面 | Ra < 1.6μm | 最高使用溫度 | 惰性氣體 | 400-500°C |
| 內(nèi)表面 | Ra < 0.2μm | 腐蝕性氣體，反應(yīng)氣體 | 50°C | ||
| 顆粒攔截效率 | ≥99.9999999%(9LRV)@30slpm | 下游潔凈度 | ≥0.03particles/liter @>0.01um，30slpm | ||
| 顆粒攔截粒徑 | ≧0.003μm | ||||
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